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著者
野々垣三郎
出版社
共立出版
ISBN
9784320042278
発行
1987年11月
微細加工とレジスト
レジストを使う微細加工(写真製版技術 半導体用レジストに要求される特性)
フォトレジスト
電子線レジスト(電子線を使う微細加工 電子線を使う微細加工の解像限界)
X線レジスト(X線を使う微細加工 X線を使う微細加工の解像限界)
将来展望(フォトレジストの将来 電子線レジストの将来 X線レジストの将来)
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