• Author野々垣三郎
  • Publisher共立出版
  • ISBN9784320042278
  • Publish Date1987年11月

微細加工とレジスト

  1. レジストを使う微細加工(写真製版技術 半導体用レジストに要求される特性)
  2. フォトレジスト
  3. 電子線レジスト(電子線を使う微細加工 電子線を使う微細加工の解像限界)
  4. X線レジスト(X線を使う微細加工 X線を使う微細加工の解像限界)
  5. 将来展望(フォトレジストの将来 電子線レジストの将来 X線レジストの将来)
>> 続きを表示